イオン注入
イオン注入ディスクの再生・コーティング
Coherent 再生・コーティングサービスにより、イオン注入装置の寿命を延ばし、総所有コストを削減し、性能を向上させます。
Coherent 、あらゆるイオン注入装置のディスクやヒートシンクの修理、改修、再生製造において、幅広い技術Coherent 。これには、1970年代後半から現在までに製造された、あらゆるメーカー・モデルのバッチ処理型イオン注入装置が含まれます。
主な機能
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すべてが積み重なっていく 当社の業界をリードする革新技術により、製品寿命が2倍に延び、ウェーハの欠けが99%減少、金属汚染が50%減少、フェンスの「摩耗溝」による粒子発生が80%減少、さらに総所有コストが平均30%削減されます。 |
高性能コーティング Coherent エラストマー製ペデスタルおよびヒートシンクコーティングは、ウェーハの冷却効率を高め、生産性を向上させ、パッド間のウェーハ温度の均一性を改善します。 |
トーロン製フェンスアセンブリ 耐摩耗性に優れたトルロンを採用することで、フェンスとディスクの寿命を大幅に延ばし、ウェーハの欠けを大幅に低減し、フェンスの摩耗溝の発生を抑え、金属汚染を低減します。 |
 改良されたフェンスの設計 Coherent 精密 ベアリングフェンスは、長寿命を実現し、フェンスの偏摩耗を防ぎ、OEM製の圧着式部品に見られる異物詰まりを解消します。 |
注目動画
イオン注入装置の寿命を延ばす
半導体 が進歩する中でも、多くのファブでは従来のバッチ式イオン注入装置が依然として不可欠であり、その性能は「イオン注入ディスク」という一つの重要な部品にかかっている。
これらのディスクは、ウェーハの品質と装置の信頼性を維持するために、精密かつ定期的な再生処理が必要です。25年以上にわたる専門知識を持つCoherent 、米国と台湾にある2つのISO 9001認証取得済みクリーンルーム施設を拠点に、業界をリードする再生Coherent 。
詳細な点検や高度なシリコンコーティングから、エラストマーの交換、精密 調整に至るまで、当社のプロセスによりディスクを最高の性能へと回復させます。これにより、稼働時間の向上、汚染の低減、そしてお客様の投資の保護を実現します。
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