レンズとは何ですか?
パウエルレンズ 均一な強度のレーザー線を生成するために使用されるパウエルレンズ 。これを実現するために、独自の円筒非球面形状を採用しています。パウエルレンズ 、マシンビジョンからフローサイトメトリーに至るまで、多岐にわたるパウエルレンズ 。
ほとんどのレーザーは、断面が円形または楕円形のビームを放射します。ビーム全体の強度分布は、通常、ガウス分布、あるいはそれに極めて近い形状をとります。このガウス分布の強度分布は、多くの用途において有益です。しかし、均一な強度分布(しばしば「フラットトップ」と呼ばれる)の方が望ましい場合もあるのです。
ガウスビームを(1次元および2次元において)均一な強度分布に変換する方法はいくつかあります。中でも最も強力かつ柔軟な方法は、レンズを用いたものです。ここでは、フラットトップビームが必要とされる理由、レンズ 、そして他の技術に比べてどのような利点があるかについて見ていきましょう。
ガウスビーム――その長所と短所
この図は円形のガウスビームを示しています。このビームは、端部よりも中心部の方がはるかに強度が高くなっています。ガウスビームは、ほとんどのレーザーの基礎となる物理現象から自然に生じるものであり、そのため非常に一般的です。
ほとんどのレーザーは、本来、ガウス分布を持つ円形の断面を持つビームを生成します。これは、中心部が周辺部よりもはるかに明るいという特徴があります。比較のために、円形および正方形の均一な強度のビームを示します。
ガウス分布のビームは、いくつかの理由から、均一な強度を持つビーム(円形または方形)に比べて有利な場合が多い。その主な理由の一つは、ガウスビームは、同じ直径の均一な円形ビームよりも小さなスポットに集光できる点である。これは多くの用途において非常に有用である。例えば、ほとんどの材料加工用途では、集光されたビームが小さければ小さいほど、微細な構造を形成する能力が向上する。また、多くのレーザー顕微鏡技術においても、集光スポットサイズが小さくなるほど、画像の解像度が向上する。
しかし、特にレーザーが線状ビーム(幅よりも長さが長いビーム)として形成される場合など、逆のことが当てはまるケースもあります。線状ビームは、多くの照明用途で使用されています。シーンや被写体を均一に照らすことで、その後の画像処理が簡素化され、画像のコントラストや解像度が向上するため、ここでは均一な輝度が求められます。
ガウスビームの変形
ガウスビームのユニークな特性は、従来の光学系を用いて集光、拡散、あるいはその他の方法で形状を変更しても、そのガウス分布の強度プロファイルが維持されるという点です。実際、この特性をなくすのは非常に困難です。
ガウスビームを均一な強度分布を持つビームに変換する最も単純かつ直接的な方法は、ビームの中心部(最も均一な部分)以外はすべて遮断する開口部を通してビームを通すことです。この方法には2つの欠点があります。第一に、レーザー出力の非常に大きな割合(最大75%)が無駄になってしまいます。第二に、その結果得られるビームは、依然としてそれほど均一ではありません。
ガウスビームを均一な強度分布に変換する最も簡単な方法は、ビームの中心部分だけを選択し、残りを切り捨てることです。しかし、この方法は最も悪い結果をもたらします。
ガウスビームを、多くの光を失うことなくフラットトップ分布に変換することは、より困難です。しかし、回折法と屈折法の両方を使って実現することは可能です。
回折光学素子は、さまざまな回折次数の光同士の干渉を利用して、レーザビーム光を空間的に再配分することで機能します。これにより、ほぼフラットトップを含む、事実上あらゆる任意の強度分布や、多種多様なパターンを生成することが可能です。
均一な線状ビームを生成する上で、回折光学系には2つの大きな欠点がある。第一に、効率があまり高くないことだ。回折 かなりの量の光が漏れてしまう。第二に、一般的に波長非常に高いことだ。これは、半導体レーザ 組み合わせて使用する場合に特に問題となる。
レンズレットアレイ 純粋に屈折を利用した手法レンズレットアレイ 。これは、入力ビームよりもはるかに小さい複数のレンズを含む光学系である。各レンズレットによって生成される出力パターンは遠方界で重なり合い、所望の均一な強度分布を作り出す。
円筒形レンズレットアレイの2つの構成。
レンズレットアレイでは、最終ビームの高い均一性を実現することは非常に困難です。通常、強度にはかなりの高周波リップルが生じます。さらに、レンズレットアレイ 製造には特殊な金型が必要レンズレットアレイ その有用性は大量生産向けの用途に限定されます。
パウエルレンズ
パウエルレンズ 回折光学系とレンズレットアレイの両方の限界を克服した、もう一つの屈折光学パウエルレンズ 。レンズ 入力ビーム 、均一な強度分布を持つ発散ビーム入力ビーム 効率的に変換するように特別レンズ 非球面円筒レンズ レンズ 。レンズ レンズの一種レンズ 、ビームを1次元方向のみに均一化します。
パウエルレンズ。
この図は、レンズ 、その動作レンズ。レンズ 、中心部の「ホットスポット」を除去するために、光の中心からビームの端へと光をレンズ 。レンズ 1次元方向にレンズ 、ガウス分布の形状は維持します。そのため、レンズ 、端部よりも中心部の方がはるかに明るい線状ビームが生成されます。
レンズ 左)と従来のレンズ 右)を比較した。どちらの光学系も、円形のガウス分布を持つレーザビーム 、投影されたあらゆる表面に線を描くように広がる扇状の光レーザビーム 。レンズ 、光の中心からビームの端へとレンズ 、輝度が均一な線を描き出します。一方、レンズ ビームのガウス分布レンズ 、その線は中心部がはるかに明るく輝きます。
レンズ 、性能のほぼあらゆる面で回折光学素子よりも優れた結果レンズ 。最も重要な点は、レンズ 効率レンズ (光の損失が少ない)、エッジのきついパターンを生成し、目的の領域の外側への光の漏れがほとんどレンズ 。
レンズ 波長に対しても比較的影響レンズ 。そのため、半導体レーザ が可能である。これは、個体間の波長ばらつきや、これらの光源に固有の帯域幅、および波長 性の影響を受けないためである。 その結果、生産用ビームホモジナイザーにおいて、半導体レーザ 波長 ビン分けを行うことなく、パターン全体強度の均一性 日常的に達成することが可能となります。
ただし、パウエルレンズ 完璧パウエルレンズ 。各レンズは特定の入力ビーム に合わせて設計されており、それより大きいまたは小さいビームでは最適な結果が得られません。また、位置合わせ(円筒面に対して垂直な軸方向)にも敏感です。位置がずれると強度の均一性 投影強度の均一性 低下します。
パウエルレンズ について
レンズ 円筒状非球面精密 製造精密 、パウエルレンズ 品質はメーカーパウエルレンズ 。つまり、実際のレンズ 性能は、設計値から大きく乖離するレンズ 。そのため、公表されている仕様書の読み方を理解しておくことが重要です。
レンズ 主な仕様レンズ 波長、想定される入力ビーム (入力ビーム ガウス入力ビーム ため、1/e²の強度点で定義される)、および出力ビームのファン角レンズ 。これらは図に概略的に示されている。 出力ビームはガウス分布ではなく均一であることが意図されているため、ファン角は、パワーがピーク値の80%まで低下した点(1/e²パワー点ではなく)で測定されます。
レンズ 主な公称仕様は、入力ビーム と出力ビームのファン角レンズ 。
一般的に、レンズ 最も重要な性能パラメータは、その強度の均一性 レンズ 。製造上のばらつきや公差の影響により、強度の変動(特にビームの端部において)、フラットトッププロファイルの不均一、周期的な構造、および散乱が生じることがある。
レンズ 、通常、光強度がピーク値の80%まで低下した点から測定されます。強度の均一性 、メーカーによって強度の均一性 異なります。
多くのメーカーは、前の図に示された式を用いて線状均一性を定義しています。しかし、通常、この仕様は線の中心部の80%(図中にも示されています)にのみ適用されます。しかし、ビームの端部を除外してしまうと、実際の性能を正確に反映した結果とはなりません。なぜなら、不均一性は通常、端部で最も顕著に現れるからです。
対照的に、Coherent 、線長の100%にわたって強度の均一性 Coherent 。これは、線の直線性や含有電力(80%ピーク電力点と1/e²ピーク電力点の間で線に含まれる電力の比率)に関する当社の仕様についても同様です。これは、はるかに厳格で、満たすことが困難な仕様です。 その結果、Coherent レンズは、より優れた測定精度、信号対雑音比、および個体間の一貫性を実現しています。