エキシマレーザ 薄膜パルスレーザ成膜 パイロットおよび量産パルスレーザ成膜 エキシマレーザ

課題

薄膜成膜技術は、MEMS、半導体、太陽光発電、OLEDディスプレイ、5G通信用RFフィルターなど、多岐にわたる市場で活用されています。 材料特性への要求がますます厳しくなる新しい複合材料システムに対応するため、薄膜成膜技術の継続的な拡張と品質向上が求められており、より幅広い薄膜プロセスをサポートすると同時に、プロセス最適化における柔軟性も実現する必要があります。オランダ・エンスヘデに拠点を置く、パルスレーザ成膜 PLD）を専門とする企業Solmatesは、進化し続ける薄膜産業に向けて、堅牢かつ使いやすい成膜装置の開発に着手しました。

解決策

Solmatesチームは、エキシマレーザ を利用して、導電性および非導電性化学量論 複雑な化学量論 の材料を堆積させる物理気相成長法（PLD）を採用しています。同社のPLDシステムは、堆積パラメータを完全に制御できるため、組成、結晶性、密度、多孔性、膜応力といった最終的な薄膜特性の設計が可能となります。 薄膜メーカーは、他の成膜技術では実現できない電気的および光学的な薄膜特性を得ることができ、さらには新しい材料システムや用途への進出も可能になります。 Solmates社がCoherent エキシマレーザ を選定した理由は、高いエネルギー（1パルスあたり最大1ジュール）と、PLDシステムのスループットを決定づけるスケーラブルな出力（80～300 W）を兼ね備えている点にあります。さらに、LEAP 、過酷な大量生産環境において、24時間365日の産業用信頼性とウェハーあたりのコスト最小化を実現した確かな実績を有しています。

結果

現在、Solmates社のPLDプラットフォームは、あらゆる標準的なクラスターフレームに統合可能であり、パイロットスケールから大量生産まで幅広く対応しています。300mmまでの産業用ウェーハサイズに対応した高品質なPLDプロセスの登場により、産業顧客は薄膜成膜の能力を拡大し、成膜ポートフォリオに約30種類の新たな材料および材料システムを追加することが可能になりました。

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