半導体 製造
最先端の光学技術、レーザー、複合材料を用いて、スループットと歩留まりを最大化する装置を構築する。
- 革新的な熱特性を持つ材料を用いて、高安定性構造の露光装置およびウェーハハンドリング装置を製造する。
- 歩留まりの向上 あらゆる検査作業に対応可能な幅広いレーザー製品群からお選びいただけます。
- 信頼性の高いEUVリソグラフィー最高品質のCO₂ レーザ光学系 ダイヤモンドウィンドウにより、信頼性と長寿命を実現します。
任意のノードでのパフォーマンス
最先端の3nmチップから確立された100nm以上のプロセスまで、Coherent 、光学系、および先進的な複合材料を用いて製造装置を構築し、一貫性があり、コスト効率に優れ、信頼性の高い稼働を実現します。 ハイブリッドセラミックスや炭化ケイ素を含む当社の革新的な材料は、EUVリソグラフィの過酷な要求を満たす機械部品を生み出します。当社のレーザ光学系 ダイヤモンドウィンドウレーザ光学系 同様です。さらに、当社のレーザー製品群は、ほぼあらゆる検査作業に対応できるほか、マーキングやアニール処理など、多様な材料加工作業を遂行します。
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