レーザー加工機およびシステム
UV転写
UVtransferのレーザーシステムは、次世代マイクロLEDディスプレイの製造における専用アプリケーションに対応しています。
プロセス開発およびパイロットライン向けに設計されたUVtransfer 3-in-1システムは、レーザーリフトオフ(LLO)、レーザー誘導前方転写(LIFT)、およびピクセル修復・トリミングを極めて高い柔軟性をもって実行します。UVtransferシステムは、最高レベルのスループットと歩留まりを実現する完全自動化LIFT装置であり、マイクロLEDディスプレイの生産を産業規模へと拡大しています。 UVtransfer Rシステムは、除去および再充填プロセスを極めて迅速かつ効率的に実行するための、プロフェッショナル向けのターンキーソリューションです。
UV転写- 概要
この高性能システムは精密 比類のない精密 を実現し精密 高エネルギーの248 nm UVレーザーを搭載することで、広い照射領域を用いた高スループット加工を可能にします。
| 主な特徴 | メリット | UVtransfer 3 in 1 システム - 研究開発ツールおよび技術基盤 |
UVtransfer - 量産用LIFTツール |
UVtransfer R - 量産向け修理ツール |
完全自動化と24時間365日の利用 |
産業規模での大量生産 |
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多機能性 |
1回の投資で3つのプロセスを調査、最適化、検証する |
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大規模なフィールドサイズと先進的なステージコンセプト |
高い処理能力と卓越したシステム効率 |
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50 µmから5 µmまでのあらゆるダイサイズに対応しています |
将来を見据えた技術。 |
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実績のあるエキシマレーザ |
技術的なリスクを排除します。 |
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深紫外線 |
ほぼすべての素材に対応しています。 |
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ファブ統合 |
工場ネットワークを介したシステム全体の制御、インダストリー4.0に対応 |
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統合診断 |
高いプロセス安定性と信頼性 |
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マイクロLEDディスプレイ製造の革新
Coherent新しいUVtransferシステムCoherent、レーザーリフトオフ(LLO)、レーザー誘導前方転写(LIFT)、および修復・トリミング機能により、MicroLED製造に革新をもたらしています。