一般光学

マイクロレンズ

当社の1次元または2次元のマイクロレンズアレイ(MLA)を用いて、極めてコンパクトなコリメーションおよび集光システムを構築します。

Coherent 通常、個々のレンズレットが正方形または六角形の周期的なパターンで配置され、レンズ が数百マイクロメートルとなるように構成されています。これらは、ナノインプリント、フォトリソグラフィー、およびガラス成形を用いて製造することができます。

マイクロレンズ の機能

Coherent 、さまざまな材料を用いた多種多様な構造のMLAを製造Coherent 。6インチSiウェハー上で、近赤外MLAの大量生産を行うことができます。 

シリコンマイクロレンズアレイの仕様 

材料仕様

素材

シリコン

屈折率

≈ 3.42

透明性

R <0.2% T >99% @ 1260-1340 nm

製造仕様

直径

600 ±5 μm

厚さ

400 ±10 μm

ピッチ

750 ±1 μm

有効口径

510 nm

曲率半径

3.0 mm

円錐

0

表面粗さ

<5 nm RMS

レンズ 形状のばらつき

<35 nm RMS

表面品質

スクラッチ・ディグ:5/1×0.025(ISO 10110-7に基づく)

欠け

<100 μm

エッジの垂直度

90±2度