一般光学
マイクロレンズアレイ
当社の1次元または2次元マイクロレンズアレイ(MLA)を使用して、極めてコンパクトなコリメーションおよび集光システムを構築してください。
Bei MLAs von Coherent sind die einzelnen Linsen typischerweise in einem quadratischen oder sechseckigen periodischen Muster angeordnet, mit einem Linsenabstand von einigen hundert Mikrometern. Sie können durch Nanoimprinting, Photolithographie und Glasformung hergestellt werden.
Fähigkeiten von Mikrolinsen-Arrays
Coherent kann MLAs mit einer Vielzahl von Strukturen in verschiedenen Materialien herstellen. Die Großserienproduktion von Nahinfrarot-MLAs kann auf 6-Zoll-Si-Wafern durchgeführt werden.
Spezifikationen von Silizium-Mikrolinsen-Arrays
Materialspezifikationen |
|
素材 |
シリジウム |
Reflektierender Index |
≈ 3,42 |
Transparenz |
R < 0,2 % T >99 % bei 1.260 – 1.340 nm |
Herstellungsspezifikationen |
|
Durchmesser |
600 ± 5 μm |
Dicke |
400 ± 10 μm |
ピッチ |
750 ± 1 μm |
Transparente Apertur |
510 nm |
Krümmungsradius |
3,0 mm |
Konisch |
0 |
Oberflächenrauigkeit |
<5 nm RMS |
Abweichung des Linsenoberflächenprofils |
<35 nm RMS |
Oberflächenqualität |
Kratzen-Bohren: 5/1x0,025 basierend auf ISO 10110-7 |
Zerspanung |
< 100 μm |
Kantenvertikalität |
90 ± 2° |
関連商品
光学製品の生産能力
Coherent材料成長、製造、コーティング、組立における垂直統合型体制と、厳格な品質保証体制について詳しくご覧ください。これらが当社の光学部品の性能と信頼性をどのように保証し、サプライチェーンにおけるリスクや不確実性を最小限に抑えているかをご確認ください。