一般光学

マイクロレンズアレイ

当社の1次元または2次元マイクロレンズアレイ(MLA)を使用して、極めてコンパクトなコリメーションおよび集光システムを構築してください。

Bei MLAs von Coherent sind die einzelnen Linsen typischerweise in einem quadratischen oder sechseckigen periodischen Muster angeordnet, mit einem Linsenabstand von einigen hundert Mikrometern. Sie können durch Nanoimprinting, Photolithographie und Glasformung hergestellt werden.

Fähigkeiten von Mikrolinsen-Arrays

Coherent kann MLAs mit einer Vielzahl von Strukturen in verschiedenen Materialien herstellen. Die Großserienproduktion von Nahinfrarot-MLAs kann auf 6-Zoll-Si-Wafern durchgeführt werden. 

Spezifikationen von Silizium-Mikrolinsen-Arrays 

Materialspezifikationen

素材

シリジウム

Reflektierender Index

≈ 3,42

Transparenz

R < 0,2 % T >99 % bei 1.260 – 1.340 nm

Herstellungsspezifikationen

Durchmesser

600 ± 5 μm

Dicke

400 ± 10 μm

ピッチ

750 ± 1 μm

Transparente Apertur

510 nm

Krümmungsradius

3,0 mm

Konisch

0

Oberflächenrauigkeit

<5 nm RMS

Abweichung des Linsenoberflächenprofils

<35 nm RMS

Oberflächenqualität

Kratzen-Bohren: 5/1x0,025 basierend auf ISO 10110-7

Zerspanung

< 100 μm

Kantenvertikalität

90 ± 2°