レーザー

COMPex

この強力で汎用性が高く、信頼性の高いUIレーザーは、要求の厳しい用途向けに、数百mJのパルスエネルギーを、高いパルス間安定性と優れたビーム均一性とともに提供します。

COMPexは、汎用性の高いエキシマレーザーの性能と寿命における基準となっています。パルスレーザー成膜(PLD)、ウェハ剥離、レーザーリフトオフ(LLO)、固体サンプリング(LA-ICP-MS)、ワイヤストリッピング、FBGライティングなど、要求の厳しい用途において優れた結果をもたらします。 

COMPexの主な性能パラメータの概要

コンパクトで組み込みが容易な単相電源式エキシマレーザーです。最大繰り返し周波数は10~100Hzの範囲で、最大パルスエネルギーは750mJまで選択可能です。

製品仕様

モデル名 出力レーザー波長(nm) 最大パルス周波数(Hz) 最大パルスエネルギー(mJ) 最大出力(W)
COMPex 157 50 32 1.6
COMPex 193 50 100 4
COMPex 20 240 4.8
COMPex 100 240 12
COMPex 10 400 4
COMPex 50 400 15
COMPex 50 400 15
COMPex FBG 248 100 140 12
COMPex 50 150 7
COMPex 20 400 8
COMPex 100 400 30
COMPex 110 750 7.5
COMPex 50 750 33
COMPex 308 20 250 5
COMPex 100 250 16
COMPex 10 500 5
COMPex 50 500 20
COMPex 351 20 200 4
COMPex 100 200 12
COMPex 10 300 3
COMPex 50 300 15