レーザー
COMPex
この強力で汎用性が高く、信頼性の高いUIレーザーは、要求の厳しい用途向けに、数百mJのパルスエネルギーを、高いパルス間安定性と優れたビーム均一性とともに提供します。
COMPexは、汎用性の高いエキシマレーザーの性能と寿命における基準となっています。パルスレーザー成膜(PLD)、ウェハ剥離、レーザーリフトオフ(LLO)、固体サンプリング(LA-ICP-MS)、ワイヤストリッピング、FBGライティングなど、要求の厳しい用途において優れた結果をもたらします。
COMPexの主な性能パラメータの概要
コンパクトで組み込みが容易な単相電源式エキシマレーザーです。最大繰り返し周波数は10~100Hzの範囲で、最大パルスエネルギーは750mJまで選択可能です。
製品仕様
| モデル名 | 出力レーザー波長(nm) | 最大パルス周波数(Hz) | 最大パルスエネルギー(mJ) | 最大出力(W) |
|---|---|---|---|---|
| COMPex | 157 | 50 | 32 | 1.6 |
| COMPex | 193 | 50 | 100 | 4 |
| COMPex | 20 | 240 | 4.8 | |
| COMPex | 100 | 240 | 12 | |
| COMPex | 10 | 400 | 4 | |
| COMPex | 50 | 400 | 15 | |
| COMPex | 50 | 400 | 15 | |
| COMPex FBG | 248 | 100 | 140 | 12 |
| COMPex | 50 | 150 | 7 | |
| COMPex | 20 | 400 | 8 | |
| COMPex | 100 | 400 | 30 | |
| COMPex | 110 | 750 | 7.5 | |
| COMPex | 50 | 750 | 33 | |
| COMPex | 308 | 20 | 250 | 5 |
| COMPex | 100 | 250 | 16 | |
| COMPex | 10 | 500 | 5 | |
| COMPex | 50 | 500 | 20 | |
| COMPex | 351 | 20 | 200 | 4 |
| COMPex | 100 | 200 | 12 | |
| COMPex | 10 | 300 | 3 | |
| COMPex | 50 | 300 | 15 |