パルスレーザー堆積（PLD）
PLDを使用し、当社独自の強力なエキシマレーザーを活用して、多種多様な薄膜を迅速に作製します。
- 化学量論的薄膜 当社の安定したエキシマレーザーを用いて、総厚さを制御した化学量論的層を形成します。
- より高速な成膜当社のエキシマレーザーの高いパルスエネルギーを活用し、大面積の薄膜をより迅速に製造します。
- 三移 PLDは、当社のレーザーが実証済みの稼働率と信頼性を備えているため、お客様の生産プロセスを24時間365日、年中無休で稼働させることができます。
多機能堆積
OLEDディスプレイ、MEMS、半導体、太陽光発電、医療用センサー、携帯電話、先進電池など、ますます多くの技術や産業が薄膜技術に依存しています。PLDは、ダイヤモンド様炭素（DLC）、ペロブスカイト、圧電材料、高温超伝導体（HTS）など、多様な材料への適用が可能であるため、通常、第一の製造法として選ばれています。これらすべてのケースにおいて、当社のエキシマレーザーは、PLDによる高速な成膜、精密な深さ制御、および高精度な化学量論的制御を実現します。
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製品の用途
PLD製品
リソース一覧
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