エキシマレーザー
将高能紫外光脉冲用于微电子、显示屏、科学研究、医学和薄膜加工。
- 大场尺寸处理 用均匀的大面积平顶型光束覆盖样品表面。
- 可扩展的紫外光功率 调整从预生产到大批量生产的功率水平。
- 极致精度 在低温薄膜加工中选择性地沉积激光能量。
种类齐全的准分子激光器产品组合
凭借 50 年的准分子激光器领域经验，我们知道您可以使用与您的应用相匹配的准分子激光器获得绝佳结果。这就是为什么我们提供选择范围极广的激光功率和能量选项的原因，所有这些都具有卓越的质量和性能。
ExciStar
ExciStar 台式紫外光准分子激光器专为精细任务而设计，这些任务包括角膜消融、处方透镜打标和光学传感器制造。
- 高重复频率 - 高达 1 kHz。
- 台式 - 占用空间为 650 mm x 300 mm。
- 193 nm 或 248 nm - 精确打标和烧蚀。
IndyStar
IndyStar 激光器是坚固耐用的高占空比紫外光准分子激光器，专为快速脉冲应用（如喷墨嘴钻孔、测量和光学测试）而设计。
- 高脉冲频率 - 在全天候应用中高达 2 kHz。
- 半导体应用 - 符合 Semi-S2 标准。
- 193 nm 和 248 nm - 平版印刷开发、掩模板和光学测试、微加工。
COMPex
COMPex 、数百mJのパルスエネルギーを発生させることができ、パルス間安定性と優れたビーム均一性を備えており、厳しい要件が求められる用途に適しています。
- 高能量 - 数百毫焦。
- 波长多样 - 193 nm、248 nm、308 nm、351 nm。
- 支持薄膜加工 - 晶片加工、脉冲激光沉积。
LEAP
LEAP 、LEAP デューティ比、高い信頼性、および低い運用コストを備えており、高エネルギーかつ高精度な加工が可能です。
- 功率等级的广泛选择 - 同一平台支持高达 600 瓦的大批量制造、预生产和开发。
- 按需脉冲 - 根据您的工艺流程调整脉冲模式，从而尽可能降低运营成本。
- 多功能 - 从 193 nm、248 nm 和 308 nm 型号中选择，用于脉冲激光沉积、微结构或显示屏加工。
LAMBDA SX
LAMBDA SX 紫外線エキシマレーザーLAMBDA SX 、安定した高エネルギーパルスにより、広範囲の紫外線加工に対応し、優れたビーム安定性を備えています。
- 高功率 - 高达 600 W。
- 高脉冲能量 - 高达 1000 mJ。
- 高脉冲频率 - 三班批量生产，频率高达 600 Hz。
VYPER
VYPER 千瓦至数千瓦紫外光准分子激光平台可达成大批量显示屏生产的超高吞吐量。
- 十分高的功率 - 高达 3600 W。
- 非常高的脉冲能量 - 每脉冲高达 6 J。
- 无与伦比的能量稳定性 - 支持 OLED 和 MicroLED 背板加工。
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