半導体製造装置 – FEOLフォトリソグラフィー
最先端の光学・機械材料および部品を活用し、処理能力と歩留まりを最大化する装置を開発してください。
- Extreme Stabilität Bauen Sie Wafer-Bearbeitungswerkzeuge mit Komponenten, die auf thermisch innovativen Materialien basieren.
- Langlebige Materialien Profitieren Sie von langlebigeren Optiken wie polykristallinen CVD-Diamantfenstern.
- Engere Toleranzen Profitieren Sie von den flachsten Wafertischen auf Basis von reaktionsgebundenem Siliziumkarbid (RB SiC).
Höhere Auflösung
Die Extrem-Ultraviolett-Lithographie (EUV) kann IC-Merkmale bis zu 5 nm und darüber hinaus liefern. Das Erreichen dieser Auflösung stellt jedoch hohe Anforderungen an jedes Teil eines Lithographiesystems, was die Schwingungsstabilität, das thermische Kriechen und die Ebenheit des Wafertisches betrifft. Coherent hat Pionierarbeit bei der Verwendung innovativer Materialien geleistet – darunter Hybridkeramik und Siliziumkarbide – um mechanische und optomechanische Komponenten zu entwickeln, die diesen Anforderungen gerecht werden. Wir bieten auch Optiken an, die den besonderen Anforderungen der EUV-Strahlung gerecht werden.
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