材料
金属マトリックス複合材
高い比剛性と優れた熱安定性を兼ね備えた材料を採用し、半導体製造装置の熱安定性を向上させましょう。
Coherent 、半導体装置の性能を向上させ、集積回路向けの先進的な加工・パッケージング技術が抱える課題に対処するために、開発者に比類のない柔軟性をCoherent 。
COGENTUM – 特徴
2×2メートルを超える大きさの構造物に打ち込み可能な、さまざまなコンポジット材からお選びください。
材料特性 |
CONGENTUM® グリューン |
CONGENTUM® ブルー |
CONGENTUM® Gold |
密度 (g/cm³) [ρ] |
2.78 |
2.80 |
2.96 |
曲げ係数 |
0.29 |
0.29 |
0.25 |
ヤング率 – GPa [E] |
125 |
143 |
200 |
CTE 平均 20~100 °C (ppm/K) [α] |
15 |
12 |
11 |
熱伝導率 (W/m・K) [k] |
160 |
164 |
160 |
比熱(J/kg・K) |
820 |
800 |
730 |
最大引張強度(MPa) |
370 |
320 |
340 |
破断靭性(MPa・m¹/²) |
15 |
13 |
13 |
減衰係数(% ゼータ) |
0.26 |
0.26 |
0.58 |
比剛性(E/ρ) |
45 |
51 |
68 |
熱的安定性 (k/α) |
11 |
14 |
14 |