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ニオブ酸リチウムウェハー

ニオブ酸リチウムウェハー

Nutzen Sie die einzigartige Kombination aus hohem Brechungsindex und sichtbarer und infraroter Transmission von Lithiumniobat für die Herstellung von Wellenleitern, Modulatoren und Sensoren auf unseren Wafern.

Lithiumniobat ist ein multifunktionales Material mit hoher chemischer und thermischer Stabilität. Sein hoher Brechungsindex (> 2,3) ermöglicht im Vergleich zu Glas (1,5) ein großes Sichtfeld, wenn es in Waferform für das Wellenleiterdesign hergestellt wird.

ニオブ酸リチウムウェハー

Verlassen Sie sich darauf, dass Coherent mit über einem Jahrzehnt Erfahrung in der Herstellung von Lithium-Niobat-Wafern Wafer liefert, die genau Ihren Anforderungen entsprechen.

データシート

Materialspezifikationen

素材

Kongruent: LiNbO3

Materialqualität

Blase oder Aufnahme <100 μm

Aufnahme <8, 30 μm < Blasengröße < 100 μm

Ausrichtung

Y-Schnitt ±0,2°

Dichte

4,65 g/cm3

Curie-Temperatur

1142 ±1℃

Transparenz

>95 % für 10 mm Dicke über 450 – 700 nm

Herstellungsspezifikationen

Durchmesser

150 mm ± 0,2 mm

Dicke

350 μm ± 10 μm

Ebenheit

Gesamtdickenschwankung (TTV)

Lokale Dickenabweichung (LTV) 

Beugung

Rauigkeit

<1,3 μm

Verzerrung < 70 μm bei 150 mm Wafer

<70 μm bei 150 mm Wafer

Rq≤ 0,5 nm (RMS-Wert nach AFM)

Oberflächenqualität

40-20

Partikel

Nicht-entfernbare Partikel: 

100–200 μm≤ 3 Partikel,

20–100 μm ≤20 Partikel

Chip

<300 μm (vollständiger Wafer, ohne Ausschlusszone)

Riss

Kein Riss (vollständiger Wafer)

Kontamination

Kein nicht-entfernbarer Fleck (vollständiger Wafer)

Parallelität

< 30 Bogensekunden

Orientierungshilfe flach (x-Achse)

47 ±2 mm

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